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品質(zhì)是生命,服務(wù)是宗旨

Quality is life, service is the tenet

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小型卷對卷連續(xù)生長CVD設(shè)備

更新時間:  2025-07-30

產(chǎn)品型號:  

產(chǎn)品報價:  

所  在  地:  合肥市新站區(qū)穎河路22號

產(chǎn)品特點:  主要適用于粉末材料在高溫條件下熱處理或者粉末材料的表面材料生長,該回轉(zhuǎn)加熱系統(tǒng)集控制系統(tǒng)與爐膛為一體。爐膛使用高純氧化鋁纖維材料,采用電阻絲為加熱元件。加熱系統(tǒng)設(shè)計為上下可開啟式結(jié)構(gòu),方便觀察石英管以及物料的狀態(tài)。

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產(chǎn)品概述

一、簡要介紹

加熱設(shè)備:主要適用于粉末材料在高溫條件下熱處理或者粉末材料的表面材料生長,該回轉(zhuǎn)加熱系統(tǒng)集控制系統(tǒng)與爐膛為一體。爐膛使用高純氧化鋁纖維材料,采用電阻絲為加熱元件。加熱系統(tǒng)設(shè)計為上下可開啟式結(jié)構(gòu),方便觀察石英管以及物料的狀態(tài)。石英爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封,進(jìn)氣口使用旋轉(zhuǎn)接頭連接使攪拌過程順暢。出氣端采用磁流體密封的形式,將抽氣接口和真空泵相連,確保實驗可在一定的負(fù)壓條件下進(jìn)行。四段加熱溫區(qū)設(shè)計可以有效延長恒溫區(qū)的長度,加熱絲均勻緊湊地分布在爐管外,有效的保證整個過程中物料充分加熱,且與反應(yīng)氣體充分接觸。控溫?zé)犭娕际褂眠m合中低溫度條件下的K型熱電偶,以提高控溫的精確性。該設(shè)備能夠方便客戶對材料進(jìn)行全過程氣氛保護(hù)或與真空條件下的實驗。

爐體的控制面板配有智能溫度調(diào)節(jié)儀,控制電源開關(guān)、爐管旋轉(zhuǎn)控制按鈕,加熱工作/停止按鈕,配有電源和保險指示燈,以便隨時觀察本系統(tǒng)的工作狀態(tài)。

卷對卷設(shè)備:在原設(shè)備基礎(chǔ)上加裝銅箔卷對卷裝置(客戶自備管式回轉(zhuǎn)爐和射頻電源機(jī)組),PECVD可以左右互換,加裝10寸觸摸屏可以控制氣路和爐體加熱及銅箔收卷參數(shù)。爐管法蘭常壓及負(fù)壓環(huán)境使用;

氣路加裝3路質(zhì)量流量計,量程分別為200、200、500sccm;

真空部分:加裝電阻真空計,配機(jī)械泵1臺。

小型卷對卷連續(xù)生長CVD設(shè)備

二、技術(shù)參數(shù)

型號

LFT1200C1600D100IV-RTR-PECVD

額定功率

13KW

額定電壓

AC380V

最高溫度

爐管為石英管時,最高溫度不超過1100

額定溫度

1100℃

升溫速率

10℃/min

控溫精度

±1℃

控溫方式

模糊 PID 程序控溫30段程序控溫

熱電偶型

K 型

加熱元件

電阻絲

設(shè)備重量

510KG

外型尺寸(長×深×高)

4170*890*1260mm

加熱區(qū)長度

400+400+400+400mm(恒溫區(qū)1200mm)

爐管尺寸

Φ100*3000mm

爐管旋轉(zhuǎn)速率

0-13轉(zhuǎn)/min

真空度

10Pa



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